中国首家12英寸晶圆再生工厂在合肥量产

　　中新社合肥7月15日电 (记者 赵强)安徽省合肥市人民政府15日发布消息称，合肥至微项目当日正式量产，这是中国国内首个立项又最先量产的12英寸晶圆再生工厂。

　　所谓“晶圆再生”，指的是通过去除损耗控挡片表面的杂质和缺陷，使处理后的晶圆达到新片的标准，实现其循环再利用，进而为企业节约大量成本。

　　据介绍，合肥至微项目总投资近10亿元(人民币，下同)，2020年3月正式开工，2020年12月项目设备基本搬入调试，2021年3月，进入试生产阶段，至6月进入量产阶段。

　　合肥量产的这一晶圆再生项目以14纳米晶圆厂的再生晶圆需求为设计基础，是服务于中国半导体高阶市场的首条投产的12英寸晶圆再生产线。该项目全面达产后，可形成每年168万片晶圆再生及120万件零部件清洗的能力，满产后年产值可超过6亿元。  

　　据了解，在此之前，中国高阶的晶圆再生需求都要送到日本、中国台湾等地处理。而随着至微项目的量产，合肥将成为满足晶圆再生需求的重要基地。

　　经过多年发展，合肥已成为中国国内集成电路产业发展最快、成效最显著的城市之一。目前已集聚集成电路企业超300家、从业人员超2万人，拥有晶合集成、通富微电等一批行业龙头，成为中国少数几个拥有集成电路设计、制造、封装测试及设备材料全产业链的城市之一。

　　合肥至微项目的成功量产，将成为中国最早具备12英寸晶圆再生及关键设备零部件再生能力的项目之一，这为合肥市集成电路产业链添上重要一环，也为产业高质量发展注入了新的动力。(完)

【编辑:黄钰涵】